分辨率測試卡

IMA RT RC-04分辨率測試卡詳細介紹：

JIMA RT RC-04分辨率測試卡是一種用于設置和測試微焦 X 射線系統的光刻生產的測試模式。

分辨率測試卡支持 0.1 µm 和 10 µm 之間的分辨率，對應于 0.2 µm 和 20 µm 之間的焦斑尺寸。不同距離的線束應用于硅載體

測試卡特點：

JIMA RT RC-04分辨率測試卡封裝在一個防護盒中

盒子的外形尺寸（W×D×T）：40×30×5mm

芯片尺寸（W×D×T）：5×5×0.015mm

圖案布局：T型

線/空間尺寸：32種規格圖案,

0.1μm,0.15μm,0.2μm,0.25μm,0.3μm,0.35μm,0.4μm,0.5μm,0.6μm,0.7μm, 0.8μm,

0.9μm,1.0μm,1.5μm,2.0μm,3.0μm,4.0,5.0μm,6.0μm，7.0μm,8.0μm,9.0μm,10.0μm,

JIMA RT RC-04分辨率測試卡規格介紹

每個測試圖案由 8 條線組成，T 形布局

吸收材料：鎢，厚度>=650nm

保護膜：PET膜25μm（含粘合劑）

硅基：15 µm +/- 1 µm（厚度）

外殼尺寸：40 x 30 x 5 毫米（寬 x 高 x 深）

芯片尺寸：5 x 5 x 0.06mm（寬 x 高 x 深）

精度模式： 公差： +/- 10%

適用范圍工作溫度：10°C至70°C

JIMA RT RC-04分辨率測試卡用途：

在 X 射線系統的分辨率測試。選擇檢測器、樣品和試管之間的距離，以便獲得盡可能高的放大倍數?，F在選擇所需的 X 射線參數。將測試圖案放置在試管前面，以便一束線條中的每條線條清晰可見。使用機械手進行溶出度測試，使下一個最小的線束變得可見。只要線條清晰，就繼續。以下近似適用：焦點尺寸等于分辨率乘以 2。

JIMA RT RC-04分辨率測試卡的布局+封裝